近日，合肥微元素實(shí)驗(yàn)室設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)奔赴山東理工大學(xué)，順利完成了雙通道 ALD 管式爐系統(tǒng) ALD-1200C-4H 的安裝與調(diào)試工作。此次設(shè)備入駐山東理工大學(xué)，將為該校的科研工作注入新的活力，助力在材料科學(xué)、化學(xué)工程等多領(lǐng)域邁向新高度。

設(shè)備安裝與調(diào)試過程

在山東理工大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室中，合肥微元素的技術(shù)團(tuán)隊(duì)嚴(yán)格按照設(shè)備安裝規(guī)范，逐步完成了設(shè)備的組裝、氣路連接、電路布線等工作。此次安裝的雙通道ALD管式爐系統(tǒng)具備多項(xiàng)先進(jìn)功能，包括單溫區(qū)預(yù)熱爐、雙溫區(qū)反應(yīng)爐、精密液體氣相發(fā)生器、等離子射頻電源、四通道氣體流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等配套設(shè)施組件，能夠滿足高精度、多功能的實(shí)驗(yàn)需求。

在調(diào)試過程中，技術(shù)團(tuán)隊(duì)重點(diǎn)對設(shè)備的單溫區(qū)預(yù)熱爐、雙溫區(qū)反應(yīng)爐、精密液體氣相發(fā)生器、等離子射頻電源、四通道氣體流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等核心部件進(jìn)行了細(xì)致的測試與校準(zhǔn)。通過WYS-4Z 2.0版本軟件，團(tuán)隊(duì)成功實(shí)現(xiàn)了對ALD蒸汽脈沖時(shí)間、氣體流量等參數(shù)的精確控制，確保了設(shè)備在毫秒級脈沖時(shí)間下的高精度操作。此外，設(shè)備的四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)也經(jīng)過了嚴(yán)格的測試，確保了氣體流量的精確控制，流量范圍覆蓋1~500 SCCM，重復(fù)精度達(dá)到±0.2%F.S。

設(shè)備技術(shù)亮點(diǎn)

1. 供氣系統(tǒng)：設(shè)備配備了四通道質(zhì)子流量計(jì)，能夠精確控制四路氣體的通入和混合，流量范圍分別為1~100 SCCM、1~200 SCCM、1~200 SCCM和1~500 SCCM，重復(fù)精度高達(dá)±0.2%F.S，確保了氣體流量的高精度控制。

2. ALD進(jìn)氣閥：設(shè)備配備了2個(gè)ALD脈沖電磁閥，最小可在10ms內(nèi)完成閥門的開啟或關(guān)閉，工作壓力范圍從真空至145PSI，確保了ALD工藝的高效進(jìn)行。

3. 液體氣相發(fā)生器：通過蠕動泵實(shí)現(xiàn)液體的精密推送，流量范圍從0.007~7 ml/minute（可調(diào)），轉(zhuǎn)速0.1-100r/min（可調(diào)），精度高達(dá)±1%，確保了液體氣相生成的高精度控制。

4. 雙溫反應(yīng)爐：設(shè)備采用雙溫區(qū)設(shè)計(jì)，最高工作溫度可達(dá)1100℃，每個(gè)溫區(qū)由獨(dú)立的PID控制系統(tǒng)進(jìn)行50段程序化控溫，確保了加熱過程的精確性和穩(wěn)定性。

5. 單溫預(yù)熱爐：預(yù)熱爐的最高工作溫度可達(dá)1200℃，連續(xù)工作溫度為1100℃，加熱區(qū)長度為440mm，恒溫區(qū)長度為150mm，適用于多種高溫實(shí)驗(yàn)需求。

6. 真空系統(tǒng)：設(shè)備配備了JXB-12自動化真空系統(tǒng)，管內(nèi)最高真空度可達(dá)5^-3Torr，確保了實(shí)驗(yàn)環(huán)境的高真空要求。

7. 等離子射頻電源：輸出功率范圍為5~500W，射頻頻率為13.56 MHz，具備自動匹配功能，適用于等離子體輔助的ALD工藝。

安全與注意事項(xiàng)

在安裝調(diào)試過程中，合肥微元素技術(shù)團(tuán)隊(duì)特別強(qiáng)調(diào)了設(shè)備的安全使用規(guī)范。團(tuán)隊(duì)向山東理工大學(xué)的實(shí)驗(yàn)人員詳細(xì)講解了設(shè)備的操作流程，并提醒實(shí)驗(yàn)人員在操作過程中需注意以下幾點(diǎn)：

1. 氣壓控制：爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa，氣瓶必須安裝減壓閥，確保氣體通入時(shí)的安全性。

2. 氣體流量控制：氣體流量應(yīng)控制在200 SCCM以下，避免過高的氣體流量對設(shè)備造成損害。

3. 易燃易爆氣體使用：如需使用易燃易爆或有毒氣體，實(shí)驗(yàn)人員需自行做好防護(hù)措施，確保實(shí)驗(yàn)安全。

專業(yè)團(tuán)隊(duì)，打造無憂服務(wù)

合肥微元素實(shí)驗(yàn)室設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)?wèi){借專業(yè)的技術(shù)知識和豐富的經(jīng)驗(yàn)，在安裝調(diào)試過程中展現(xiàn)出極高的水準(zhǔn)。從設(shè)備的精準(zhǔn)安裝到各項(xiàng)參數(shù)的精細(xì)調(diào)試，團(tuán)隊(duì)成員們都一絲不茍，嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作流程進(jìn)行，確保每一個(gè)環(huán)節(jié)都萬無一失。面對安裝調(diào)試過程中可能出現(xiàn)的問題，技術(shù)團(tuán)隊(duì)?wèi){借敏銳的洞察力和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，迅速分析并解決，保障了整個(gè)安裝調(diào)試工作的高效完成。

合作展望，共赴科研新程

此次設(shè)備安裝調(diào)試的順利完成，是合肥微元素與山東理工大學(xué)合作的一個(gè)重要里程碑。這不僅意味著山東理工大學(xué)在科研設(shè)備上實(shí)現(xiàn)了更新升級，為科研人員開展更深入、更前沿的研究提供了有力支持，也為雙方未來進(jìn)一步的合作奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。未來，合肥微元素實(shí)驗(yàn)室設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)秉持專業(yè)、負(fù)責(zé)的態(tài)度，為山東理工大學(xué)提供全方位的技術(shù)支持和售后服務(wù)，與山東理工大學(xué)攜手共進(jìn)，在科研創(chuàng)新的道路上不斷探索，共同創(chuàng)造更加輝煌的科研成果。

期待在這款先進(jìn)設(shè)備的助力下，山東理工大學(xué)能在科研領(lǐng)域取得更多突破，為推動行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)更多智慧和力量！

合肥微元素實(shí)驗(yàn)室設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)此次山東之行圓滿結(jié)束，標(biāo)志著公司在高端科研設(shè)備領(lǐng)域的又一重要里程碑。未來，我們將繼續(xù)致力于為全球科研工作者提供更先進(jìn)、更可靠的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，助力科學(xué)研究的不斷進(jìn)步。